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菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240核心技術與硬件配置

X 射線源：50 kV/50 W 鎢靶微聚焦 X 射線管（鈹窗口），焦點≤50 μm；高壓三檔可調（30/40/50 kV）；4 個電動切換準直器（最小 0.05×0.05 mm，標配含 ?0.1 mm、?0.2 mm 等），3 個自動切換基本濾片；比例計數管探測器，兼顧高計數率與快速測量。

定位與觀察：內置 500 萬像素彩色視頻顯微鏡，38×–184× 光學變焦，實時顯示測量點；手動 XY 工作臺（行程 30×40 mm），定位精度 ±0.005 mm；測量方向為從下往上，C 型開槽樣品艙可容納高度 174 mm 的樣品。

軟件與標準：搭載 WinFTM® 軟件（標配 LIGHT 版，可選 BASIC/PDM/SUPER），支持 100 組程序預設、數據統計、報告生成與導出；符合 DIN ISO 3497、ASTM B568 及德國 RoV 射線安全法規。

關鍵性能指標

最小測量點：約 0.09×0.09 mm（≈?0.1 mm）

精度：Au > 0.1 μm 時，標樣校準誤差＜±5%；無標樣＜±10%；80 nm 金鍍層重復精度達 2.5 nm，COV（變異系數）＜5%

測量距離：0–27.5 mm 可調，支持 DCM 距離補償

元素范圍：Cl（17）~ U（92），可同時分析最多 5 種元素，支持單 / 雙 / 三鍍層、合金鍍層厚度測量，以及 4 元合金成分分析

樣品參數：高度 174 mm，XY 工作臺承重 2 kg；整機尺寸 403×588×444 mm，約 45 kg